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相關(guān)技術(shù)指標:?1)潔凈等級專(zhuān)業(yè)高效潔凈過(guò)濾裝置,濾網(wǎng)采用進(jìn)口超細玻璃纖維,確保潔凈柜內CLASS 10~100級/1000級(10級一般是指空柜或每層放置固定數量晶圓盒情況下,必潔淨度能逹到須滿(mǎn)足每立方英尺內顆粒≦10ea@0....
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